November 20, 2020

Entegris把RSP和極紫外光(EUV)技術授權給家登精密工業股份有限公司

麻薩諸塞州比爾里卡–(BUSINESS WIRE)–(美國商業資訊)–為半導體和其他高科技產業提供先進材料和製程解決方案的世界級供應商Entegris, Inc. (NASDAQ: ENTG)今天宣佈,它已同意與家登精密工業股份有限公司(Gudeng Precision Ltd.)就雙方關於傳統和EUV微影的光罩盒技術專利訴訟和糾紛達成和解。雙方達成的授權合約(條款保密)解決了兩家公司之間懸而未決的法律訴訟,包括家登對於賠償Entegris近十億元新臺幣的判決提出的上訴。 Entegris執行長Bertrand Loy表示:「我們對這些智慧財產權案件的結案感到高興。在我們繼續與業界領導者合作,推動EUV微影技術向前發展的過程中,這些協定符合我們客戶的最大利益。」 隨著半導體器件逐漸在原子級尺寸進行工程設計,以促成新的器件架構和新的圖案化方案,業界開發出極紫外光(EUV)微影技術,以成功縮小最先進器件的複雜圖案。EUV微影圖案存放在反射玻璃光罩上,這些光罩價值極高,而且極易因為處理不當而受到污染和損壞。Entegris的EUV光罩盒可在光罩的整個生命週期內保護其免於破壞性微塵、潮


Leave Comment


Your Name *
Your Email *
Your Website
Comment *